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简述电子工业厂房防微振检测项目技术流程与案例
先进半导体 | 2023-10-23 14:29:25    阅读:4156   发布文章

项目背景

随着工业及电子信息产业的不断发展,工业及电子科技产品质量和精度的不断提高,对产品的生产及检测所需的环境要求也越来越高,其中环境微振动控制是众多微污染控制中非常关键的一项工作。为满足产品生产和检测的要求,生产厂房的设计、施工验收以及运营都需要考虑微振动的影响。

电子工业厂房的主要振源可划分为外部和内部。如下图所示,外部振源主要是指存在于厂房外部的环境微振动,例如:公路交通及轨道交通等。而内部振源根据所在位置及功能可分为两类,一类是保障生产运行的动力设备振源,如空调风机、供水排水泵等;另一类则是精密设备自身携带的工艺设备振源,如检查设备、搬运设备等。上述各类型振源都可能对生产安全和生产质量造成影响,因此对电子工业厂房设计、施工以及运营过程中均应掌握厂房的微振动情况,并及时采取相应的解决措施。

技术流程

有防微振要求的工厂环境振动测试一般分为四个阶段,针对各个阶段不同的振动影响,本公司可以提供相应的振动测试服务,如下图所示:

第一阶段微振动测试,即场地环境的振动测试,主要调查拟建场地的环境振动参数,厂区周围公路、铁路等交通运输及附近厂矿生产所产生的振动影响,为场地选择及对其综合评估提供依据。

第二阶段微振动测试,即工程主体建筑竣工,厂房内各类设备尚未安装前的环境振动对主体结构影响的测试,主要测试建筑主体结构的动力特性(固有振动频率、阻尼比等)及主体结构在环境振功作用下的防微振性能,验证结构方案的合理性。

第三阶段微振动测试,即厂房内除精密设备及仪器外其他空调、动力系统等设备和工艺附属设备联机调试或试运转时,在精密设备及仪器安装位置处的环境振动测试,以考核外界环境振动对该处的综合影响,评价是否满足精密设备及仪器的安装条件,为精密设备及仪器是否需进一步采取隔振措施提供依据。

第四阶段微振动测试,即精密设备及仪器安装完毕,工艺设备试生产时在精密设备及仪器安装位置处的环境振动测试,以考核外界环境及工艺设备振动对这些位置的综合影响,这也是工程投产前的最终测试。测试分析结果可作为防微振工程验收的依据,亦可作为企业制订生产、运行、厂区环境管理规定的依据。

案例分享

案例1:本项目对某精密仪器制造商二期新建厂房的天然地基土场地进行振动测试,确保场地在邻近交通主干道产生的外部振源影响下能满足生产设备所容许的微振动环境要求。同时,对一期厂房既有设备产生的振动对地面(楼面)的影响进行了测试,保证生产品质。

案例2:本项目对某新建电子工业厂房屋顶区域进行了振动测试,研究该层动力设备运行时产生的振动对厂房主体结构的影响,从而确保厂房生产安全,保障生产品质。


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